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Oerlikon reçoit de multiples commandes pour le CLUSTERLINE® 300 de la part d’un fabricant de dispositifs de puissance de premier plan.

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Oerlikon Advanced Technologies, un leader dans la fourniture d'équipements de dépôt physique en phase vapeur, a aujourd'hui établi un nouveau standard avec le CLUSTERLINE® 300 qui devient le premier système 300 mm en

Oerlikon Advanced Technologies, un leader dans la fourniture d'équipements de dépôt physique en phase vapeur, a aujourd'hui établi un nouveau standard avec le CLUSTERLINE® 300 qui devient le premier système 300 mm en production au monde à appliquer la métallisation de face arrière sur les tranches minces pour les dispositifs de puissance.

Suite à sa qualification par un fabricant de dispositifs de puissance de premier plan, Oerlikon a reçu de multiples commandes du CLUSTERLINE® 300 pour la production de dispositifs de puissance 300 mm.

Les nouveaux processus développés, destinés aux dispositifs tels que les transistors à effet de champ métal-oxyde semi-conducteur (MOSFET), offrent le même comportement que ceux qualifiés pour les tranches de 200 mm et permettent aux fabricants de dispositifs de puissance de produire des appareils de manière bien plus efficace.

Avec le CLUSTERLINE® 300, Oerlikon a réussi à surmonter les défis importants associés à la transition entre la fabrication de dispositifs de puissance 200 mm et ceux de 300 mm sur les tranches minces.

L'adaptation de la production de tranches de 300 mm pour les dispositifs de puissance requiert des solutions innovantes ainsi que l'ajout d'un niveau d'automatisation supérieur et de capacités de manipulation des tranches.

Une expérience étendue

Il y a plus de 10 ans, Oerlikon a qualifié les premières solutions pour la fabrication de dispositifs de puissance 200 mm sur des sites de clients. Aujourd'hui, la capacité de manipulation et de traitement des tranches du CLUSTERLINE® 200 représente la solution établie chez tous les plus grands fabricants de dispositifs de puissance ainsi que dans les fonderies. Oerlikon a la réputation de pouvoir surmonter les défis technologiques afin de fournir les solutions les plus innovantes qui procurent le plus haut niveau de productivité et le coût de possession le plus faible. La longue expérience d'Oerlikon en matière de processus de production de dispositifs de puissance a été déterminante dans l'obtention de qualification accélérée et a permis de réussir la transition de 200 mm à 300 mm dans le cadre de la fabrication en grande série.

La solution d'Oerlikon pour les applications de métallisation de face arrière – par exemple gravure Ar/H2, AI, Ti, NiV (Ni), Ag (alliage d'or), qui ont prouvé leurs capacités dans la production de tranches vierges extrêmement minces et de tranches minces sur support.

Pour le traitement Al frontal épais, le CLUSTERLINE® 300 offre des capacités supérieures, incorporant notamment une propriété intellectuelle unique développée par Oerlikon. Un exemple de cette capacité est illustré par les modules à dépôt physique en phase vapeur par pulvérisation fortement ionisée Ti/TiN.

« Nous sommes ravis d'offrir à nos clients une solution complète pour la fabrication de dispositifs de puissance 300 mm avec le CLUSTERLINE® 300. La plate-forme offre à la fois le traitement Al frontal épais et la métallisation de face arrière sur les tranches minces pour la fabrication de dispositifs de puissance 300 mm. Cette annonce représente une validation importante de nos solutions en 300 mm de la part d'un fabricant de dispositifs de puissance de premier plan. Nous comptons bien profiter de ce succès et continuer de nous concentrer sur la fourniture de produits offrant la plus haute productivité et le coût plus faible par tranche », a déclaré Andreas Dill, Directeur général du segment Technologies avancées chez Oerlikon.

Le texte du communiqué issu d'une traduction ne doit d'aucune manière être considéré comme officiel. La seule version du communiqué qui fasse foi est celle du communiqué dans sa langue d'origine. La traduction devra toujours être confrontée au texte source, qui fera jurisprudence.

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